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亞表面缺陷檢測(cè)儀
產(chǎn)品介紹
亞表面缺陷檢測(cè)儀(SSDI—2000 )，集成包括光學(xué)顯微成像、激光共聚焦成像在內(nèi)的多種檢測(cè)模式，用于光學(xué)元件表面、亞表面缺陷的檢測(cè)與分析，可在深度方向?qū)悠愤M(jìn)行分層檢測(cè)。
| 亞表面缺陷檢測(cè)儀 | |
| 型號(hào) | SSDI-2000 |
| 檢測(cè)靈敏度 | ≤200nm |
| 橫向分辨率 | ≤300nm |
| 縱向分辨率 | ≤1μm |
| 最大樣品尺寸 | 100mm x 100mm,或根據(jù)客戶需求定制 |
*注：可根據(jù)用戶需求，提供同類特制系統(tǒng)。
01
支持自動(dòng)對(duì)焦
02
具備多種檢測(cè)模式
03
支持缺陷深度分析
04
支持表面與亞表面缺陷區(qū)分
05
各檢測(cè)模式可以自由切換，從一種檢測(cè)模式圖像上選區(qū)進(jìn)行其他檢測(cè)模式的檢測(cè)，觀察缺陷在不同檢測(cè)模式下的特性
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