光學(xué)元件缺陷檢測(cè)設(shè)備
半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備
01
碳化硅缺陷檢測(cè)儀
碳化硅缺陷檢測(cè)儀(NOVA-2000),用于SiC拋光襯底片和同質(zhì)外延片的缺陷檢測(cè),針對(duì)SiC缺陷的多樣性設(shè)計(jì)專用多通道光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和缺陷自動(dòng)檢測(cè)分類算法,對(duì)微管、層錯(cuò)、三角形缺陷、臺(tái)階聚集等各類缺陷進(jìn)行檢出和提取分類,對(duì)SiC質(zhì)量控制和工藝提升有顯著作用。
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02
圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備
圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備(AMMI-2000),主要用于圖形化品圓BUMP、RDL、PAD等的檢測(cè),也可用于無圖案晶圓表面缺陷檢測(cè)。
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