光學(xué)元件缺陷檢測設(shè)備
半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測設(shè)備
01
多模態(tài)表面缺陷檢測儀
多模態(tài)表面缺陷檢測儀(MMDI-2000),結(jié)合全口徑缺陷快速識別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測方式,對表面缺陷尺度、位置、形態(tài)進行統(tǒng)計分析,并可結(jié)合使用光熱弱吸收、顯微成像等不同模態(tài)檢測用戶關(guān)注的缺陷區(qū)域,獲取關(guān)注區(qū)域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相襯顯微成像技術(shù),實現(xiàn)凸起和凹坑的區(qū)分。
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02
亞表面缺陷檢測儀
亞表面缺陷檢測儀(SSDI—2000 ),集成包括光學(xué)顯微成像、激光共聚焦成像在內(nèi)的多種檢測模式,用于光學(xué)元件表面、亞表面缺陷的檢測與分析,可在深度方向?qū)悠愤M行分層檢測。
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03
光學(xué)透反射率測量儀
光學(xué)透反射率測量儀(HTR-1000),主要用于光學(xué)元件的透射率、反射率測量,能夠?qū)Ψ瓷渎矢哌_(dá)99.99%或透射率高達(dá)99.99%的光學(xué)元件的透/反特性進行高精度測量。主要針對小口徑光學(xué)元件,能夠快速、精確、高重復(fù)性的檢測光學(xué)元件的透射/反射特性。
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04
大口徑元件吸收缺陷檢測儀
大口徑元件吸收缺陷檢測儀(PTM-2000-LA),基于光熱掃描顯微成像技術(shù),適用于各類大口徑固體表面及亞表面缺陷的檢測和分析,特別是各類大口徑光學(xué)薄膜、光學(xué)元器件表面及亞表面吸收缺陷的檢測和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、高分辨率、全自動化檢測儀器,可根據(jù)用戶具體需求進行紫外、可見或紅外波段的精密檢測和分析。
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05
大口徑元件散射缺陷檢測儀
大口徑元件散射缺陷檢測儀(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C),適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本設(shè)備是一款非接觸式、全自動的檢測儀器,能夠快速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。
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06
大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀
大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀(MMDI-2000-LA),結(jié)合全口徑缺陷快速識別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測方式,可利用激光散射對大口徑光學(xué)元件進行全口徑快速掃描成像,對缺陷尺度、位置、形態(tài)進行統(tǒng)計分析,并結(jié)合使用光熱弱吸收、明場顯微成像、暗場顯微成像、激光共聚焦顯微成像等不同模態(tài)檢測用戶關(guān)注缺陷區(qū)域,獲得關(guān)注區(qū)域的缺陷信息。
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07
大口徑元件高透/反射率測量儀
大口徑元件高透/反射率測量儀(HTR-2000-LA),主要應(yīng)用于光學(xué)元件的透射率、反射率測量,能夠?qū)Ψ瓷渎矢哌_(dá)99.99%或透射率高達(dá)99.99%的光學(xué)元件的透/反特性進行高精度測量。能夠適用于不同尺寸,特別是大口徑尺寸的光學(xué)元件,并根據(jù)元件尺寸信息自動規(guī)劃檢測路徑,滿足客戶對感興趣區(qū)域的透射/反射特性檢測。
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08
其他定制設(shè)備
可根據(jù)用戶需求,提供各類定制化解決方案,包括光學(xué)、半導(dǎo)體等材料的表面、亞表面、體內(nèi)缺陷檢測,吸收率反射率、透射率等檢測。
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