0551-65685712
多模態(tài)表面缺陷檢測(cè)儀
產(chǎn)品介紹
多模態(tài)表面缺陷檢測(cè)儀(MMDI-2000)，結(jié)合全口徑缺陷快速識(shí)別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測(cè)方式，對(duì)表面缺陷尺度、位置、形態(tài)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，并可結(jié)合使用光熱弱吸收、顯微成像等不同模態(tài)檢測(cè)用戶關(guān)注的缺陷區(qū)域，獲取關(guān)注區(qū)域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相襯顯微成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)凸起和凹坑的區(qū)分。
| 多模態(tài)表面缺陷檢測(cè)儀 | |
| 型號(hào) | MMD1-2000 |
| 最大樣品尺寸 | 100mm x 100mm(L x W)，或根據(jù)客戶需求定制 |
| 檢測(cè)模式 | 激光散射、光熱吸收、顯微成像;可根據(jù)用戶需求定制不同組合模式 |
| 缺陷檢測(cè)靈敏度 | ≤0.3 μm |
| 光熱吸收檢測(cè)靈敏度 | ≤10ppb |
| 光熱吸收缺陷檢測(cè)靈敏度 | ≤10 μm |
| 光熱吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波長(zhǎng) |
| 顯微成像檢測(cè)橫向分辨率 | ≤0.5um |
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