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多模態(tài)表面缺陷檢測(cè)儀(MMDI-2000)，結(jié)合全口徑缺陷快速識(shí)別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測(cè)方式，對(duì)表面缺陷尺度、位置、形態(tài)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，并可結(jié)合使用光熱弱吸收、顯微成像等不同模態(tài)檢測(cè)用戶關(guān)注的缺陷區(qū)域，獲取關(guān)注區(qū)域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相襯顯微成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)凸起和凹坑的區(qū)分。

碳化硅缺陷檢測(cè)儀(NOVA-2000)，用于SiC拋光襯底片和同質(zhì)外延片的缺陷檢測(cè)，針對(duì)SiC缺陷的多樣性設(shè)計(jì)專用多通道光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和缺陷自動(dòng)檢測(cè)分類算法，對(duì)微管、層錯(cuò)、三角形缺陷、臺(tái)階聚集等各類缺陷進(jìn)行檢出和提取分類，對(duì)SiC質(zhì)量控制和工藝提升有顯著作用。

多光譜智能透鏡外觀檢測(cè)儀(AOSI-4000S)，主要用于光學(xué)透鏡的全自動(dòng)外觀質(zhì)量檢測(cè)，該設(shè)備自動(dòng)化程度高、批量上料、自動(dòng)傳送、智能檢測(cè)，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果智能分選，并生成每個(gè)元件的檢測(cè)報(bào)告。 設(shè)備可生成檢測(cè)日志，按照不同的時(shí)間周期，根據(jù)元件檢測(cè)數(shù)量、缺陷檢測(cè)類型比例等條件生成檢測(cè)日志觀察生產(chǎn)良率變化，對(duì)生產(chǎn)工藝改進(jìn)做出指導(dǎo)。

圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備(AMMI-2000)，主要用于圖形化品圓BUMP、RDL、PAD等的檢測(cè)，也可用于無圖案晶圓表面缺陷檢測(cè)。

亞表面缺陷檢測(cè)儀(SSDI—2000 )，集成包括光學(xué)顯微成像、激光共聚焦成像在內(nèi)的多種檢測(cè)模式，用于光學(xué)元件表面、亞表面缺陷的檢測(cè)與分析，可在深度方向?qū)悠愤M(jìn)行分層檢測(cè)。

半自動(dòng)智能透鏡外觀檢測(cè)儀(OSI-4000S)，主要用于光學(xué)透鏡的外觀質(zhì)量檢測(cè)，具有整盤上下料、自動(dòng)檢測(cè)、標(biāo)準(zhǔn)選擇或自定義、自動(dòng)判斷OK/NG、結(jié)果輸出等功能。設(shè)備配備特殊設(shè)計(jì)的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，針對(duì)透鏡元件復(fù)雜多變的面型和鍍膜工藝，高靈敏度的檢出包括劃痕麻點(diǎn)在內(nèi)的各類外觀缺陷，相比人工具備可靠的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

光學(xué)透反射率測(cè)量儀(HTR-1000)，主要用于光學(xué)元件的透射率、反射率測(cè)量，能夠?qū)Ψ瓷渎矢哌_(dá)99.99%或透射率高達(dá)99.99%的光學(xué)元件的透/反特性進(jìn)行高精度測(cè)量。主要針對(duì)小口徑光學(xué)元件，能夠快速、精確、高重復(fù)性的檢測(cè)光學(xué)元件的透射/反射特性。

平面元件缺陷檢測(cè)設(shè)備(AOSI-4000F)，主要用于平面光學(xué)元件的全自動(dòng)外觀質(zhì)量檢測(cè)，該設(shè)備自動(dòng)化程度高、批量上料、自動(dòng)傳送、智能檢測(cè)，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果智能分選，并生成每個(gè)元件的檢測(cè)報(bào)告。 設(shè)備可生成檢測(cè)日志，按照不同的時(shí)問周期，根據(jù)元件檢測(cè)數(shù)量、缺陷檢測(cè)類型比例等條件生成檢測(cè)日志觀察生產(chǎn)良率變化，對(duì)生產(chǎn)工藝改進(jìn)做出指導(dǎo)。

大口徑元件吸收缺陷檢測(cè)儀(PTM-2000-LA)，基于光熱掃描顯微成像技術(shù)，適用于各類大口徑固體表面及亞表面缺陷的檢測(cè)和分析，特別是各類大口徑光學(xué)薄膜、光學(xué)元器件表面及亞表面吸收缺陷的檢測(cè)和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、高分辨率、全自動(dòng)化檢測(cè)儀器，可根據(jù)用戶具體需求進(jìn)行紫外、可見或紅外波段的精密檢測(cè)和分析。

大口徑元件散射缺陷檢測(cè)儀(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C)，適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測(cè)和分析。本設(shè)備是一款非接觸式、全自動(dòng)的檢測(cè)儀器，能夠快速檢測(cè)待測(cè)表面的劃痕、麻點(diǎn)、臟污等特性。

激光共聚焦顯微鏡(LCM-2000)，具備光學(xué)顯微成像與激光共聚焦成像雙重檢測(cè)模式，主要用于各類材料的表面形貌與表面缺陷的三維檢測(cè)分析。

大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測(cè)儀(MMDI-2000-LA)，結(jié)合全口徑缺陷快速識(shí)別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測(cè)方式，可利用激光散射對(duì)大口徑光學(xué)元件進(jìn)行全口徑快速掃描成像，對(duì)缺陷尺度、位置、形態(tài)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，并結(jié)合使用光熱弱吸收、明場(chǎng)顯微成像、暗場(chǎng)顯微成像、激光共聚焦顯微成像等不同模態(tài)檢測(cè)用戶關(guān)注缺陷區(qū)域，獲得關(guān)注區(qū)域的缺陷信息。