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碳化硅缺陷檢測(cè)儀
產(chǎn)品介紹
碳化硅缺陷檢測(cè)儀(NOVA-2000)，用于SiC拋光襯底片和同質(zhì)外延片的缺陷檢測(cè)，針對(duì)SiC缺陷的多樣性設(shè)計(jì)專用多通道光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和缺陷自動(dòng)檢測(cè)分類算法，對(duì)微管、層錯(cuò)、三角形缺陷、臺(tái)階聚集等各類缺陷進(jìn)行檢出和提取分類，對(duì)SiC質(zhì)量控制和工藝提升有顯著作用。
| 碳化硅缺陷檢測(cè)儀 | |
| 型號(hào) | NOVA-2000 |
| 晶圓 | SiC襯底，外延片 |
| 尺寸 | 4寸，6寸，8寸 |
| 檢測(cè)效率 | 10WPH(6寸) |
| 上下料方式 | 全自動(dòng)，2Loadport，1Robot |
| 環(huán)境溫度 | 20℃~25℃ |
| 環(huán)境濕度 | 40%~60% |
| 廠房潔凈等級(jí) | 百級(jí)及以上無(wú)塵車間 |
01
【多通道光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)】特殊設(shè)計(jì)的多通道光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)SiC復(fù)雜多樣的缺陷在一次運(yùn)行中完成檢測(cè)。
02
【實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦】實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦，對(duì)不同厚度晶圓和翹曲晶圓實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦和全程跟焦。
03
【缺陷自動(dòng)檢測(cè)與分類算法】基于深度學(xué)習(xí)的缺陷自動(dòng)檢測(cè)與分類算法。
04
【高潔凈等級(jí)】全密封檢測(cè)環(huán)境，全自動(dòng)傳片，無(wú)塵微環(huán)境設(shè)計(jì)，保障晶圓檢測(cè)過程的潔凈。
05
【智能操作軟件】一鍵式操作軟件，自動(dòng)檢測(cè)晶圓位置與數(shù)量，并進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。也可選擇單片檢測(cè)，靈活操作。
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