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大口徑元件散射缺陷檢測儀

產(chǎn)品介紹

大口徑元件散射缺陷檢測儀(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C),適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本設(shè)備是一款非接觸式、全自動的檢測儀器,能夠快速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。

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產(chǎn)品參數(shù)
大口徑元件散射缺陷檢測儀
型號  LSDI-2000-LA LSDI-3000-C
檢測方式 全自動 全自動
檢測靈敏度 ≤200nm ≤500nm
樣品類型 平面 球面、非球面
樣品尺寸 ≤500mm x 500mm x 80mm ( L x W x H )

注:可以根據(jù)客戶需求提供同類定制儀器和相關(guān)測試的解決方案

產(chǎn)品特點

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