大口徑元件散射缺陷檢測儀
產(chǎn)品介紹
大口徑元件散射缺陷檢測儀(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C),適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測和分析。本設(shè)備是一款非接觸式、全自動的檢測儀器,能夠快速檢測待測表面的劃痕、麻點、臟污等特性。
大口徑元件散射缺陷檢測儀 | ||
型號 | LSDI-2000-LA | LSDI-3000-C |
檢測方式 | 全自動 | 全自動 |
檢測靈敏度 | ≤200nm | ≤500nm |
樣品類型 | 平面 | 球面、非球面 |
樣品尺寸 | ≤500mm x 500mm x 80mm ( L x W x H ) |
注:可以根據(jù)客戶需求提供同類定制儀器和相關(guān)測試的解決方案
01
高速檢測
02
高靈敏度
03
高重復(fù)性
04
全自動操作
05
可根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動判別
06
可根據(jù)客戶需求,綜合開發(fā)定制包括多種檢測技術(shù)的設(shè)備
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