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大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀

產(chǎn)品介紹

大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀(MMDI-2000-LA),結(jié)合全口徑缺陷快速識別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測方式,可利用激光散射對大口徑光學(xué)元件進(jìn)行全口徑快速掃描成像,對缺陷尺度、位置、形態(tài)進(jìn)行統(tǒng)計分析,并結(jié)合使用光熱弱吸收、明場顯微成像、暗場顯微成像、激光共聚焦顯微成像等不同模態(tài)檢測用戶關(guān)注缺陷區(qū)域,獲得關(guān)注區(qū)域的缺陷信息。

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產(chǎn)品參數(shù)
大口徑元件缺陷多模態(tài)檢測儀
型號 MMDI-2000-LA
樣品尺寸 ≤500mm x 500mm
檢測模式 激光散射、光熱吸收、明場顯微成像、暗場顯微成像、激光共聚焦顯微 成像五種??筛鶕?jù)用戶需求定制不同組合模式
缺陷檢測靈敏度 ≤0.3μm
光熱吸收檢測靈敏度 10ppb
光熱吸收缺陷檢測靈敏度 ≤10μm
光熱吸收泵浦光源 355nm、532nm、1064nm或定制波長
顯微成像檢測橫向分辨率 ≤1μm
激光共聚焦缺陷檢測靈敏度 ≤0.3μm
激光共聚焦缺陷橫向分辨率 ≤0.5μm
激光共聚焦缺陷縱向分辨率 ≤1μm
產(chǎn)品特點

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